激光干涉仪可以检测数控机床、三坐标测量机的哪些精度参数?

  激光干涉仪是以光波为载体,以光波波长为单位的一种计量方法,是公认的高精度、高灵敏度的检测仪器,在高端制造领域应用广泛。
  SJ6000激光干涉仪产品采用美国进口高稳定氦氖激光器、激光双纵模热稳频技术、高精度环境补偿模块、几何参量干涉光路设计、高精度激光干涉信号处理系统、高性能计算机控制系统技术,实现多种参数的高精度测量。通过激光热稳频控制技术,实现快速(5~10分钟)、高精度(0.05ppm)、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光输出,采用不同的光学镜组可以测量出线性长度、角度、直线度、平行度、平面度以及垂直度等几何量,并且可以进行动态测量分析。
  SJ6000激光干涉仪产品具有测量精度高、测量速度快、最高测速下分辨率高、测量范围大等优点。通过与不同的光学组件结合,可以实现线性长度、角度、平面度、直线度、垂直度、平行度等多种几何精度的测量。在相关软件的配合下,还可以对数控机床进行动态性能检测;进行机床振动测试与分析;滚珠丝杆的动态特性分析;驱动系统的响应特性分析;导轨的动态特性分析等,为设备误差修正提供依据。
已邀请:

要回复问题请先登录注册