微电子参量测量的不确定度表示
本文叙述了在微电子参量检测结果中引入测量不确定度的重要意义.重点讨论了在微电子测量过程中应考虑的影响因素以及标准不确定度的计算规则.最后,给出了微电子参量测量不确定度表示的一种特殊应用,对验证测试系统的可用性和测试结果的可靠性有较大的现实意义.
不确定度,微电子器件,参量检测
周红,中国船舶重工集团公司第七0九研究所;沈森祖,中国船舶重工集团公司第七0九研究所
2002年全国电子测控工程学术年会
20021013
武夷山
中国电子学会%中国仪器仪表学会
电工技术
无线电电子学、电信技术
电子测量与仪器学报2002增刊
中国电子学会
北京
20021001
21-24
电工技术
无线电电子学、电信技术
H047235