干涉显微镜不确定度的分析评定
本文对干涉显微镜在进行校准/测试工作中,分析计算了不确定度的来源和分量,以及合成标准不确定度和扩展不确定度,并对干涉显微镜进行了重复性、稳定性考核和不确定度的验证,表明干涉显微镜能按检定系统表和检定规程开展量值传递.
干涉显微镜,不确定度,重复性,稳定性,光学仪器
黄健,中国空气动力研究与发展中心校准/测试实验室
西南地区自动化、仪器仪表及电控技术学术年会
20021031
四川绵阳
中国自动化学会
西南地区自动化、仪器仪表及电控技术学术年会论文集
中国自动化学会
北京
20021031
12-13
吕庆新
H046945