干涉显微镜不确定度的分析评定

  csxfjsw123 ·  2008-01-22 19:35  ·  47845 次点击
干涉显微镜不确定度的分析评定
本文对干涉显微镜在进行校准/测试工作中,分析计算了不确定度的来源和分量,以及合成标准不确定度和扩展不确定度,并对干涉显微镜进行了重复性、稳定性考核和不确定度的验证,表明干涉显微镜能按检定系统表和检定规程开展量值传递.
干涉显微镜,不确定度,重复性,稳定性,光学仪器
黄健,中国空气动力研究与发展中心校准/测试实验室
西南地区自动化、仪器仪表及电控技术学术年会
20021031
四川绵阳
中国自动化学会
西南地区自动化、仪器仪表及电控技术学术年会论文集
中国自动化学会
北京
20021031
12-13
吕庆新
H046945

4 条回复

芊芊614  2011-03-09 20:14
看看。。。。。。。。。。。。。。
anchenlang  2010-05-04 20:11
学习了,一直在关注中
qzh007  2010-02-23 23:21
我司有一台非接触式表面粗糙度仪,正是用了干涉显微镜!先下学习学习!
dalai007  2010-02-01 00:32
学习了 谢楼主分享

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