大量程位移传感器用于三等量块检定时的不确定度分析
安玉山深圳市计量质量检测研究院
摘要:
近年来,随着光电技术的发展,国内外出现了一系列基于光栅技术的高准确度大行程的位移传感器.光栅类传感器与其他传感器如电感、电容、容栅等比较,具有测量重复性好、准确度高、测量范围大的特点,特别是在较大行程时仍能保持非常好的线性.此外,由于电子细分技术和计算机技术的发展,大大提高了光栅类传感器的准确度,较高准确度的光栅类传感器在25mm测量范围内的最大示值误差可达到MPE=±（0.03＋0.51）μm（式中：l为测量长度,单位：m）.国外生产这类光栅传感器的厂家主要是德国HEIDENHAIN公司,国内也有厂家成功研制了这类传感器.
关键词:位移传感器不确定度分析三等量块HEIDENHAIN公司大量程测量重复性光栅技术定时测量范围计算机技术
分类号:TH811TP212文献标识码：文章编号：栏目信息：技术篇