年度保养项目及要求：
1.更换超纯水保安过滤器滤芯。（每三个月/次或压差＞0.08MPa时）
2.更换超纯水膜过滤器滤芯。（每年/次或压差＞0.08MPa时）
3.淡水桶消毒清洗。（春节进行）
4.纯水桶消毒清洗。（春节进行）
5.DI水管道消毒清洗。（春节进行）
6.更换紫外线灯管。（每两年或使用2万小时/次）
7.原水泵全面保养。（每半年/次），格兰富水泵（每年/次）
8.有校验要求的压力表检查、校验。（每半年/次）
9.RO膜化学清洗。（每三个月/次或到需清洗的条件）
10.超纯水系统电系统检查、除尘、接线端子紧固。（春节进行）
月保养项目：（运行组执行）
1.检测进水余氯含量。(余氯含量小于0.1ppm)
2.各段RO膜产水电导检测。
周保养项目及要求：（运行组执行）
1.砂过滤器清洗（每天/次）
2.活性碳吸附器清洗（每周/次）
3.保安过滤器、膜过滤器排污。（每次排污2分钟）
4.超纯水液位控制检查及调整。（要求控制灵活自如）
5.水泵换台使用，并检测运行电流。
6.系统报警检查。（试验是否工作正常）超纯水管道清洁、设备清洁。
巡检项目及要求：（运行组执行）
1.检查各水泵运行状况。（无异响、振动、发热、泄漏）
2.检查砂过滤器、活性碳运行状况。（石英砂色泽正常、压力正常、无泄漏）
3.检查RO机组。（各段压力、电导、温度、流量等仪表显示正常）
4.检查精、粗混床出水阻值表。（粗混大于10M，精混去除偏差后大于16.5M）
5.检查紫外线杀菌器。（无泄漏、指示正常）
6.检查报警系统。（正常投入）
7.机台卫生。（各水泵、RO机组、保安过滤器、精密过滤器、砂滤、活性碳罐顶部、控制箱等机台清洁无油污和积尘）
8.检查保安过滤器。（进出水压差正常，小于0.08MPa)
9.检查精密膜过滤器。（压差正常，小于0.08MPa)
10.检查系统管道。（无泄漏、无变形等异常）
11.检查电器控制系统。（无发热、噪音、振动、变色等异常现象）