激光刻标机的准直器和扫描振镜等光学器件被封装在激光标记头内，f-theta平场透镜的上镜片也在标记头内，下镜片则对准要加工的薄膜，也被防护罩封闭起来。因此，整个光学系统是处于密封状态的，对清洁度有很高的要求。当出现字符不清楚，字迹发青等情况时，可能需要清洁光学系统。
1．准备好分析纯酒精，纯度99.97以上、专业镜头纸。
2．整个系统必须停电。
3．必须把手清洗干净，清洁过中，手不要接触镜片。否则手上酸性物质会腐蚀镜片，形成镀膜。
4．把工作区的防护罩拆掉。
5．打开激光标记头的两个粉红色侧盖。
6．拆下安装有扫描振镜驱动器的铝合金弯板。注意，驱动器上有线，不要把线拉坏或接错。
7．目测镜头，如果外观清洁，则无须清擦。
8．如果需要清擦，把酒精滴在镜头纸上，清洁镜片。擦拭的方法是拉着镜头纸拖过镜片。注意不要用力压着镜头纸清擦，同时注意重复擦拭要更换镜头纸。
9．清洁完成后，按以上相反顺序恢复各防护罩和盖板。
必须注意以下几点：
1．激光系统受国际标准限定，在特定位置贴有警告标签。切忌随意移动或损坏它。
2．柜内的激光器有特定的防护，非专业人员不要随意拆卸和移动。
3．严禁弯折光缆，否则将损坏激光系统。
4．注意监护激光器附近的不能太湿和过多粉尘。
5．经常检查电柜的接地系统。
激光刻标设备是一台比较娇贵的设备，必须尽心地呵护它，才能维持设备好的工作状态。