火花放电过程中，阳极和阴极表面分别受到电子和离子的轰击，以及瞬时热源的作用，因此，同时都遭到电火花腐蚀。因为阳极和阴极表面所获得的能量不一样，故蚀除量也不一样，电火花加工时两极蚀除速度不同的现象，称做“极性效应”。当阳极蚀除速度大于阴极时的极性效应，称做“正极性”；反之，称做“负极性”。
极性效应的产生，在于通道中电离放电时，由于负电子的质量小，惯性也小，容易获得加速度和速度，而正离子的质量及惯性较大，加速度低，起动慢，所以在脉冲放电的前阶段，负电子对阳极的轰击多于正离子对阴极的轰击。因此在用持续时间较短(如小于50/μs)的脉冲加工时，阳极的蚀除速度将大于阴极，此时工件应接阳极，电极接阴极，即采用“正极性”加工。当用长脉冲加工时，阴极的蚀除速度将大于阳极，这时工件应接阴极，电极接阳极，即为“负极性”加工，这是因为随着脉冲持续时间的加长，放电时间加长，质量和惯性较大的正离子也逐渐获得了加速，由于正离子的质量较大，因此对阴极的轰击破坏作用比电子对阳极的作用要大。从提高加工生产率和减少工件损耗的角度来看，极性效应愈显著愈好。
当电极和工件材料不同时，仍然有极性效应，但变化较为复杂，因为不同金属的熔点、沸点和导热系数等都不一样，所以采用“正极性”还是“负极性”，不但要考虑脉冲延时，还要考虑工件和电极的材料。