1、查看电源：保持开关完整无损。抛光机安全开机流程：连接外电源→打开设备电源总开关→设备电源起动开关。抛光机安全关机流程：关闭抛光盘转动→关闭设备电源开关→断开外电源连接。
2、禁止随意乱接乱拉电线，开关插座必须上墙。在进行设备清洁或打扫卫生时，防止水溅到电源上。
3、禁止非工作人员擅自进入工作区。
4、抛光机工作时，如遇到紧急情况应立即关闭总电源开关。
5、取下抛光砣观察晶片时，必须先停止抛光盘转动，抬起压力控制臂，待压力控制臂完全抬起时，方能取出抛光砣，以免发生事故。
6、禁止在抛光机自动工作时将身体任何部位伸入抛光区，以免打伤。
7、更换抛光液时，必须先关闭自动搅拌机，避免伤人。
8、现场地面干净整齐，不得乱放物品，下班前，切记关闭“水、电、气”总开关。
9、消防器材摆放位置合理，工作人员必须掌握其操作方法，并定期检查其是否完好、是否过期。