1．筛硅粉，硅化镁及硅块的粉碎和加料，必须戴防尘口罩进行。
2．硅化镁与酸碱类应严格隔离，不准靠近。
3．多晶硅生产反应炉净化系统及分解炉要保证正常生产，室内严禁吸烟。
4．操作硫酸、硝酸、盐酸、氢氟酸必须穿耐酸鞋，戴耐酸手套和穿防护服以及带口罩。
5．操作液氨时，必须配戴防毒面具。
6．多晶硅，单晶硅设备及管道，在开炉前及生产中应严格进行检查和维修，保证其密闭性，不得有泄漏现象。
7．多晶硅生产中，严防硅烷气体进入空气。在停炉时，分解炉内的硅烷气体必须充分分解15分钟以上，再降压停炉。在保证分解炉内无硅烷后，再打开炉门。