材料的扩散焊是以“物理纯”表面的主要特性之一为根据，该种表面由于开裂的原子键而具有“结合”能力。
采用真空和其他净化表面的方法之后，就有可能利用上述原子结合力，来连接两个和两个以上的表面，随后表面上产生的扩散过程提高了这一连接的强度。
扩散焊接要求有一足够的挤压力，以便使焊接表面之间的距离缩短到原子之间力的相互作用半径。连接某一材料所需的压力应足以消除工件表面微观的不平度。
在真空中，高于再结晶温度时只施加不大的压力，就足以使相接触的焊件接合如果连接区域扩散开，并具有体积特性时，则就获得了连接的可靠性和强度。
真空扩散焊时真空度只达到5×10-4乇，被焊零件周围气氛的最低纯度为99.999987％时已能获得良好的结果。
用这种焊接方法，可以连接具有不同硬度、强度、相互润湿的各种材料，其中包括异种金属、陶瓷、金属陶瓷，这些材料用熔化焊接方法焊接都不能得到良好效果。例如，在生产中，首次实现了下述材料之间的高质量连接：陶瓷和可伐合金、铜、钛、玻璃和可伐合金；黄金和青铜；铂和钛；银和不锈讽钢；铌和陶瓷、钥；钢和铸铁、铝、钨、钛、金屑陶瓷、锡；铜和铝、钛；青铜和各种金属等等。这还远不是真空扩散焊所能够焊接材料的全部。
机械制造、拖拉机、工具、电子学、航空工业、仪表、造船、食品机械制造以及其他部门已应用这一新方法来制造电真空器件、工具、制动器、水力机械的部件、双金属的各种零件、甚至家用复合底锅（焊接后无需表面处理）等等。
经检验后证明：真空扩散焊的焊接接头的机械强度、热稳定性、密封性、耐腐蚀性和弹都能满足重要构件的技术要求。尤为突出的是：扩散焊接的工件的尺寸可以从几微米到几米。因此真空扩散焊接具有良好的经济效果。
真空扩散焊接的方法和设备已在英国、法国、H本、美国、比利时、瑞士等国家中得到承认并获专利。真空扩散焊接机一般采用钨、钼、感应器等为加热源，且有热压特性，国内企业如上海晨华电炉公司己生产此类产品，经用户使用能满足扩散焊接的要求。