热式质量流量计过去主要是热分布式，应用于气体小流量测量，较多应用于半导体工业，热处理炉、分析仪器等氢、氧、氨等流量测量和控制以及阀门制造过程中测定泄漏量等。国外近年热消散效应的侵入式和插入式热式流量计应用与环境保护和流程工业大中型管道发展迅速。径向分段排列多组检测元件组成的检测杆，较多以插入方式应用于HVAC(暖气通风空调)工程大中型管道;还应用于锅炉大管道进风量和烟道排气量监测SO2和NOX排放总量。
微小液体质量热式流量计虽然已有20余年历史，但在工业上应用直到近几年才较快发展，现在已有几家制造厂生产多种型号热分布式热式流量计投入市场。当前主要应用于化学、石化、食品等流程工业实验性装置。例如：药液配比系统中定流量配比控制，液化气注入过程中液流测量和控制。