1、检验依据：
依据ISO10360：1994条款
2、检测目标：
检验用于测量产品尺寸的三坐标测量机的精度是否合格。
3、检验工具：
行业常用的步距规和块规(量块)
4、检验公式：
检验公式也就是精度公式，一般有两个：单轴精度公式和空间精度公式。
常数+系数X测量长度/1000(如：1.9+4X测量长度/1000)注：测量长度单位为：mm,检验公式(精度公式)按每个厂家每种机器厂家确认，格式基本一样但要求不一样。所以价格也不一样。
5、验方法：
①、检查三个单轴X、Y、Z的精度(3个)。
把校验工具摆放在大理石(工作台)的中央，摆正使其和X轴运行导轨方向平行。锁定Y轴。然后测量步距规或块规(量块)，看测量出来的结果是否和所测步距规或块规长度相当。
同理，检验Y轴、Z轴精度。
②、三个面的对角线的精度XY(8-6和5-7)、XZ(8-3和7-4)、YZ(5-4和8-1)每个面有两个共6个。(6个)
③、三坐标测量机三轴和量程范围构成的立方体的4条对角线(8-2、7-1、6-4、5-3)的精度。共4个方向。(4个)
以上一起共13个方向。且每个方向都有一个量程(如Y轴量程是1000，单轴精度检测到1000mm;对角精度和空间精度另作要求)要求以及间隔(间隔按要求可以均匀分布大概5-7个就行了)要求。
6、结果分析：
如果测量后精度在检验公式范围内，则符合要求，否则要把机器的精度补正。
7、精度补偿方法：
精度补偿方法，一般分为软件补偿和硬件调试。目的就是把精度不在精度公式范围内的三坐标补偿在精度范围内。
硬件补偿在整个测量行业早期的老机器用得比较多。后来随着软件的完善都采用了软件补偿方式。软件补偿又可以分为两种：一种是直接补偿到连接三坐标的电脑的操作软件上，或注册表里面，有的需要密码，有的不需要密码。多数用于手动三坐标。另一种是通过密码补偿到三坐标机器的控制柜。多数用于自动三坐标，一般都要密码。
调整光栅尺
读数头和光栅的间隙调整好?最好用示波器看有信号输出没用。接头没接的可能性比较大.另外光栅尺的间隙你自己可以检查下.用张打印纸,从间隙穿过,自己感觉下,正常情况是一张纸的间隙就够了,也就是说一张纸要能通过,通过过后不能太松.这样的间隙就够了.其它的就得需要仪器了可以先调整主光栅和负光栅的间距，然后对系统进行优化。先确定光学尺没有损坏，再检查读头连接数据卡处是否松脱或是脱线，最后对光学尺与读头之间的间隙调整。