开机前，检查水、电气是否符合要求，开启磁控靶前，检查靶水开关，实验水流，每次开炉门后，用酒精擦拭门胶条，并用吸尘器清理真空室内部。
定期维护
1.机械泵、分子泵油，每两个月更换一次。
2.油雾分离器，每月加一次油。
3.罗茨泵油杯处每周检查一次
4.水流开关每周检查一次
5.弧源每周清理一次
6.磁控靶每更换一次靶材，用特斯拉计测量磁场强度。
7.轴架减速机润滑油，半年检查一次，不够加上。
8.电气接线端子，每周检查1次，是否有松动、掉线、老化现象。
9.电离规、热偶规每两个月更换一次。