1.平压测量面的平整性：仔细擦干净受压测量面表面，并使他们稍微离开一些，对着明亮的光线能看到缝隙。当从两个相互垂直的方向观察测量面时，该缝隙应是很均匀的。
2.施加于测量面的压力：任何适宜于校准施加压力精度和均匀性的方法都可以使用。
3.厚度块规：厚度值相当于厚度计全量程的10%、30%、50%、70%和90%的专用或标准块规，每个块规的厚度误差不应超过±程1pm。
4.测量示值的重复性误差和示值误差：(1.)当两个受压测量面相互接触时，厚度计的读数应为零，在随后的测量过程中不应重调零点。
(2)张开两个受压测量面的缝隙，然后重新让其相互接触上，记录厚度计的读数，重复这一步骤至少五次。
(3)取一块符合3规定的厚度块规，置于两测量面之间，然后将测量面紧靠在块规上，记录厚度计的读数，重复这一步骤至少五次。
(4)将其余块规逐一置于两测量面间，重复(3)的操作步骤。(注：块规应单个使用，不能组合使用)重复(2)的操作步骤。
(5)在厚度计上读取每一块规的测定数值并计算。测量示值的重复性误差即五个或更多个读数的标准偏差。示值误差即五个或更多个读数的平均值与厚度块规之间的差值。
5.受压测量面的平行度：(1)将3规定的厚度块规放入两个测量面间，并尽量使之接近一侧的边缘。然后将测量面紧靠块规，记录厚度计的读数。
(2)将同一块规置于两测量面间，尽量使之接折与5(1)正好相对的边缘。然后将测量面紧靠块规，再次记录厚度计的读数。
(3)在垂直通过5(1)、5(2)测量点的直径边缘上，重复5(1)、5(2)的操作步骤。
(4)将所有厚度块再次重复5的所有步骤。厚度块应单个使用，不能组合使用。
(5)按式1计算使用每一块规时的平行度误差。