美国MetOne3413标准粒子计数器计数文档
仪器信息网 · 2011-03-24 00:38 · 32494 次点击
美国MetOne3413标准粒子计数器计数,标准粒子(如0.301um)通过255粒子产生器由液状雾化成气体,并由其内置泵通过0.2um的过滤器后的干燥气体进入取样管路,这时,将两台相同尘埃粒子计数器同时或先后对取样管进行抽样测试,并比校0.3um粒径的测试值。
如果其平均值在20%以内,认为合格。如果不同型号的粒子计数器,一定要弄清楚其流速,取样时间,取样次数等参数,并且,还要明白怎样理解其测试结果。
校正的基本步骤:
现假设对一台常见的Metone227B作校正
首先,要清楚Metone3413和Metone227B有何差别,其测试原理一样,但Metone3413流速为1CFM(立方英尺/分钟),而Metone227B则为0.1CFM。
首先,请将洁净台开机,工作半小时,其间内也打开Metone227B和Metone3413,让其预热半小时。
准备好255的取样器管,并搭接好其所有气体管路。
将配好的标准液(如0.301um)放入脱原子瓶中,注意勿让液体超过喷嘴。
设置Metone3413和Metone227B的基本参数
取样时间都设置为00:01:00
取样次数都设置03取样模式都设置为Auto间隔时间都设置为00:00:05读数模式都设置为Cumulative
注:以上设置相同,因其流速有10倍差,故Metone3413测试结果会是Metone227B的10倍。此时,打开255电源,调节脱原子气体阀和干燥气体阀,在调至喷嘴阀处呈气雾出现,干燥气体流速计约60SCFH时后,保持其工作状态。
此时,让Metone227B和Metone3413同时工作,看其三次的平均结果,若在20%以内,视为合格。拆下脱原子瓶,重新滴入其它标准粒子,重复该测试。以上校正只是对比校正,尚可用万用表对其基本参数测量,用示波器对其信号捕捉等来辅助调校。