1.3.1电容式微型传感器
电容式HBM微型传感器是利用蚀刻法制成的硅传感器，它的优点是耗能少、灵敏度高
以及输出信号受温度影响小，常用于压力、流量和加速度的测量。
1.电容式微型压力传感器
2.电容式微型流量传感器
1.3.2电感式微型传感器
主要应用是微型磁通门式磁强计
1.3.3压阻式HBM微型传感器
原理：半导体材料的压阻效应，利用扩散工艺制作的四个半导体应变电阻处于同一硅片上，工艺一致性好，灵敏度相等，漂移抵消，迟滞、蠕变非常小，动态响应快。
1.3.4热敏电阻式HBM微型传感器
主要用来测量气体的流量和流速。
HBM微型传感器