温度影响电容式检测元件的输出主要有两个方面：
1)温度变化能引起电容式检测元件各组成零件的几何尺寸的变化，使电容极板间隙或面积发生改变，从而导致电容的变化，产生附加误差。减少温度引起的这种误差的方法是元件要选用温度系数小且稳定的材料，如近年来采用在陶瓷，石英等材料上喷镀金、银的工艺。
2)温度的变化还能引起极板间介质的介电常数的变化，直接影响电容值，带来测量误差。特别是当介质为液体时这种影响会很大。该误差一般是在转换电路中采用补偿的措施加以消除。