六氟化硫气体能使人窒息，是很多类型断路器正常运行所必须使用的介质。因此，熟练掌握断路器充六氟化硫气体的方法很有必要。根据经验，应在天气晴朗、通风良好的前提下充气，按下列步骤操作：
第一步，将六氟化硫断路器退出运行，并做好安全保障工作。六氟化硫气瓶直立放置，接上氧气减压阀，将充气管与减压阀连接好。打开气瓶阀门，再开启减压阀，使低压侧压力为2万~4万帕，然后用直径为8毫米的紫铜棒将充气管阀芯顶开，放气5~10秒冲洗管道。
第二步，测定断路器周围的环境温度，根据厂家提供的温度—压力曲线，查得断路器在充气时的额定压力值。将断路器C相传动箱下的堵头旋下，把充气管接上，然后缓慢开启减压阀对断路器充气。当听到连接管中有充气声音，证明减压阀已正常工作。当断路器内气体压力接近额定压力时，应缓慢充气，以避免断路器压力过高。
当断路器内气体充到额定气压时,关闭减压阀，先将充气管从断路器接口卸下，并随即把堵头拧到接口上，将接头与充气管连接处旋开。关闭气瓶阀门，卸下减压阀，将减压阀和接头放到干燥的地方存放，以备下次再用。
第三步，断路器在充至额定压力后，应对所有密封面进行定性检漏。如果发现漏点，可与生产厂家联系处理。此外，还应检查断路器内六氟化硫气体含水量。测量水分应在充气24小时后进行。利用断路器充气口，接上锥形针式减压阀用以控制气体流量，用微量水分检测仪测量。测得数据应根据环境温度并对照厂家提供的水分含量—温度曲线，现场交接时其数值不应超过150微升/升(20摄氏度)，运行中不超过300微升/升(20摄氏度)。
第四步，记录当天的温度、湿度及六氟化硫压力值，并在六氟化硫压力表指示处做一标记，以便日后观测比较，判断其运行状态是否存在异常。