有人认为纯净水喷淋试样是为了避免仪器内部的腐蚀，但它不是最主要的原因，主要原因是超纯净水可保证清洁的测试条件及测试的重现性。
此外，如果不对水进行特别处理以除去阳离子、阴离子、有机物，尤其是硅，试样表面就会产生污点，这在自然曝晒时是不会出现的。因此，喷淋水的固体物质及硅的含量应分别小于1μg/g和0.2μg/g。通常人们使用蒸馏或电离与反渗透相结合的方法来取得纯净水