激光干涉仪测长原理

  仪器信息网 ·  2011-03-24 00:52  ·  53647 次点击
典型的激光干涉仪由激光器L、偏振分光镜PBS、测量反射镜M、参考反射镜R、光电检测器D、检偏器P和三个λ/4波片Q1、Q2和Q3组成。激光为线偏振光,经偏振分光镜分为E1和E2两线偏振光。当两干涉臂中λ/4波片快轴(或慢轴)与X轴夹角相等且为45度时,两束光通过λ/4波片后均成为圆偏振光,反射后再次通过λ/4波片,又转换为线偏振光,但其振动方向相对原振动方向旋转了90度,且由于两干涉臂光程产生了相位差φ,根据公式:
φ=2θ=φ=4πL/λ
式中:λ为激光波长,干涉光路的作用是把位移L转变为合成光振动方向的旋转角θ,进而转换成光电信号的相位φ,信号处理器的作用就是测量出φ,从而计算出位移L。
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