1)可直接测量质量流量
与液体不同，气体体积受温度和压力的影响很大，一般在进行气体的体积流量和质量流量换算的时候，都必须限定0摄氏度1个大气压这样的标准状态下，单位是NL/min或Nm3。因此一般气体流量计必须集成体积流量计、温度变送器、压力变送器和补偿计算器等。这造成成本的大幅上升。
然而，热式流量计是直接测量质量流量的，所以就不需要配备大量的温度、压力等变送器或者计算补偿系统。
2)可动部件少
不需要旋转轴，一旦运行之后就不必经常维护。
3)微流量可测
最小可测流量：气体3Nml/min，液体0.7ml/min。
4)流速很低仍可测
热式流量计测定范围是很广的，因为温度传感器对于风的流动是很敏感的，即使流速接近于0，仍可以敏锐地检测出来。这就不会出现当流速很小时，测不到流量或者流速过大时毁坏器件的情况了。
5)高温低温均适用
热式传感器工作温度在-200oC到550oC之间。但也不是说所有的热式流量计都能在此温度范围内正常工作，这需要按照实际工作环境要求，合理选择适当的热式流量计。