测量原理
对于一定几何结构的电容器来说，其电容量与两极间介质的介电常数ε成正比。不同的物质，ε值都不相等，一般介质的ε值较小，例如一般干燥物质的ε在2.0～5.0之间。但水的ε为81，所以它比一般介质的ε值大的多。当介质中含有水分时，就会使介质的ε值改变，从而引起电容量的变化，这个变化与介质的含水量有线性关系，这就是电容式微量水分仪的基本测量原理。
电容式微量水分仪的优点是：
体积小、测量范围大、响应迅速，样品的温度和压力的变化对测量的准确度影响不大。它不但可以测量气体中的微量水分，也可以测量液体中的微量水分。
电容式微量水分仪的缺点是：
当被测介质含水量很低时，其绝对误差较小，当含水量较高时，其绝对误差增大，随着介质含水量的逐渐增大，误差越来越大。另外，还存在耗气量大，探头需要经常校准的缺点。氧化铝探头的湿敏性能会随着时间的推移逐渐下降，这种现象称之为“老化”，目前解决“老化”问题的唯一办法是定期校准，一般是一年左右校准一次，有时需半年甚至3个月校准一次。
电容式微量水分仪传感器的结构和类型:
电容式微量水分仪的传感器(也称探头)，是以铝和能渗水的黄金膜为极板，两极板间填以氧化铝微孔介质，多孔性的氧化铝可以从含有水分的气体中吸收水气或者从含有水分的液体中吸收水分，这样就使电容器两个极板之间介质的介电常数ε发生变化，因而电容量也发生变化。
其制造工艺是在带状的薄铝片或圆柱形铝棒上，通过特殊工艺进行阳极氧化处理，形成一层微孔三氧化二铝氧化物，在氧化物层上面蒸镀一薄层金而成。探头的结构一般有两种，一种是带状探头，一种是棒状探头。