等离子体光谱仪是大型精密仪器，在平时的使用过程中要注意精心的维护保养，不然不但您测出的数据的准确性不能保证，还会频频出现故障，影响您的正常工作。
1、对气体控制系统的维护保养
①氩气的纯度
等离子光谱仪所用氩气的纯度要使用使用高纯氩气，一般要4个9以上，氩气不纯会造成点不着火或ICP熄火。
②气流稳定
ICP的气体控制系统是否稳定正常地运行，直接影响到仪器测定数据的好坏，如果气路中有水珠、机械杂物杂屑等都会造成气流不稳定，因此，对气体控制系统要经常进行检查和维护。首先要做气体试验，打开气体控制系统的电源开关，使电磁阀处于工作状态，然后开启气瓶及减压阀，使气体压力指示在额定值上，然后关闭气瓶，观察减压阀上的压力表指针，应在几个小时内没有下降或下降很少，否则气路中有漏气现象，需要检查和排除。第二，由于氩气中常夹杂有水分和其它杂质，管道和接头中也会有一些机械碎屑脱落，造成气路不畅通。因此，需要定期进行清理，拔下某些区段管道，然后打开气瓶，短促地放一段时间的气体，将管道中的水珠，尘粒等吹出。在安装气体管道，特别是将载气管路接在雾化器上时，要注意不要让管子弯曲太厉害，否则载气流量不稳而造成脉动，影响测定。
2、对进样系统及炬管的维护
①雾化器
是进样系统中最精密，最关键的部份，需要很好的维护和使用。要定期的清理，特别是测定高盐溶液之后，如果不及时清洗，会造成雾化器堵塞,每次测定完以后，关机之前要把吸管放进稀酸溶液清洗一会。雾化器堵塞以后，要用手堵住喷嘴反吹，千成不要用铁丝等硬物去捅。
②炬管
每次安装炬管,位置一定要装好，防止炬管烧掉，作样时尤其是高盐份样品，炬管喷嘴会积有盐份,造成气溶胶通道不畅,常常反映出来的是测定强度下降，仪器反射功率升高等。炬管上积尘或积炭都会影响点燃等离子体焰炬和保持稳定，也影响反射功率，甚至会造成熄火。因此，要定期用酸洗，水洗，最后，用无水乙醇洗并吹干，经常保持进样系统及炬管的清洁。长时间不清洗炬管，会造成很难清洗干净的现象。
③氢氟酸介质
由于雾化器和炬管以及雾室都是玻璃或石英，所以在进氢氟酸介质的样品时一定要赶氢氟酸，或者更换耐氢氟酸系统，不然，你的进样系统的寿命会大大的缩短，尤其是雾化器和雾室，最强的一个实验室，就用普通进样系统进氢氟酸介质的样品，一年买了30个雾化器，10个雾室，还好他用的是国产仪器，配件比较便宜。
3、使用中其它注意事项
①开机测定前，必须做好安排，事先标好各项准备工作，切忌在同一段时间里开开停停，仪器频繁开启容易造成损坏，这是因为仪器在每次开启的时候,瞬时电流大大高于运行正常时的电流，瞬时的脉冲冲击，容易造成功率管灯丝断丝,碰极短路及过早老化等，因此使用中需要倍加注意，一旦开机就一气呵成，把要做的事做完，不要中途关停机。
②就是平时没有样品可测时，最好保证每周开一次机，运行半个小时到一个小时，如果一年甚至更长时间从来不开机，基本上仪器就得大修。长时间没开机时，开机前一定要检查气、电等是否符合相关条件。
③每次作完实验，一定要把样品、标准等溶液远离仪器，减少挥发对仪器的腐蚀。
④使用循环水冷的仪器，一定要用蒸馏水,防止结垢。