半导体式气体传感器主要由半导体气敏材料制造，它因具有灵敏度高、相应速度快等优点而得到了广泛应用，是目前使用最广的气体传感器之一。半导体式气体传感器又分为电阻式和非电阻式两种。
电阻式半导体式气体传感器是利用气敏元件的电阻随气体体积分数的变化而进行测量的。随主近年来复合金属氧化物、混合金属氧化物等新型材料的研究和开发，大大提高了这种气体传感器的性能和应用范围。
非电阻式半导体气体传感器是利用气敏元件的电流或电压随气体体积分数的变化而进行测量的，主要有MOS管式、二极管式、结型二极管式以及场效应管式气体传感器。检测气体大多为氢气、硅烷等可燃性气体。