每日：
开机前
1.检查并放掉空压机、过滤器、储气罐、管道中的水。在阴雨天时，每四小时就要检查一次。
2.在打开空调的情况下，用擦拭纸和无水酒精擦拭测量机导轨(机器外罩和主、辅腿只能用水擦拭)。并清洁室内环境，并保持清洁。
3.检查测量机导轨区域内是否有障碍物，测座旋转时测头是否会碰撞台面或工件。
4.检查测量机各电缆、气管、地线等连接正常、可靠。
5.检查室内温、湿度是否在要求范围内(20℃±2℃，40%～65%)。
6.打开气源开关，检查输入的气源压力是否符合要求(≥0.55Mp)，打开冷冻式除水器电源。
7.打开UPS电源，检查电源是否正常(220V±10%)。
8.开机顺序：打开计算机启动完成后，打开控制系统电源，打开测座、测头控制器电源(如果有)。
9.保持好检测间的温度条件，与检测无关人员不得随意进出检测间。
10.保持好检测间湿度，避免放假前用水擦洗地板等清洁工作，应在上班时打扫。
11.检测零件时，应保证被测零件在检测间的恒温时间(4小时)。
关机前
1.将测座运动到安全位置，测头旋转到90，0角度。
2.退出测量软件，关闭控制系统，关闭测座、测头控制器电源。关闭计算机电源。
3.关闭气源开关、冷冻式除水机开关。关闭UPS电源开关。
4.检查测量机已完全停气。
每月：
1.测量典型零件，检查测量机精度是否有很大的变化，能否满足要求。在季节变化或环境条件变化时尤其需要检查。
2.检查过滤器是否清洁。检查供气管道是否清洁。
每季：
1.清洗过滤器滤心。
2.季节变更时，检查环境条件温、湿度变化情况。
3.检测典型零件，确定测量机精度变化情况。
4.检查探测系统即测头精度。估算测头寿命，适当准备备件(尤其是触发式测头)。
每年：
1.建议每年进行测量机精度校准。
2.检查压缩空气管道、储气罐的安全性等。
3.对测量机气浮块、传动带、电机等机械部分进行检查。
4.清洁光栅尺，检查读数头工作状态。
5.对控制系统进行清洁，检查内部电缆头是否松动。