1、连接SF6设备
将测量管道上螺纹端与开关接头连接好，用扳手拧紧，关闭测量管道上另一端的针型阀;
再把测试管道上的快速接头一端插入微水仪上的采样口;
将排气管道连接到出气口。
最后将开关接头与SF6电气设备测量接口连接好，用扳手拧紧;
2、初始化
打开仪器电源开关，仪器进入初始化自校验过程，此过程半分钟。
3、检查电量
本仪器推荐优先使用交流电。
使用直流电时，请查看右上角显示的电池电量，如果电量低于约20%，请关机充电后继续使用。
4、开始测量
首先全部打开面板上的流量阀，然后用仪测量管道上的针型阀调节流量，把流量调节到0.5L/M~0.75L/M之间，开始测量SF6湿度。
第一设备测量时间需要7～15分钟，其后每台设备需要5～10分钟。
5、存储数据
设备测量完成后，可以将数据保存在仪器中，按“确定”键调出操作菜单，具体操作方式见下节内容。
6、测量其他设备
一台设备测量后，关闭测量管道上的针型阀和微水仪上的调节阀。将转接头从SF6电气设备上取下。如果需要继续测量其他设备，请不要关闭仪器电源，按照上面步骤继续测量下一台设备。
7、测量结束
所有设备测量结束后，关闭微水仪电源。