将灭弧室两触头拉开一定的开距，施加脉冲高压，将电磁线圈绕于灭弧室外侧，向线圈通以大电流，从而在灭弧室内产生与高压同步的脉冲磁场，这样在脉冲磁场的作用下，灭弧室中的电子作螺旋运动，并与残余气体分子发生碰撞电离，所产生的离子电流与残余气体密度即真空近似成比例关系。
对于直径不同的真空管，同等真空度条件下，离子电流的大小也不相同，当测知离子电流后，通过离子电流──真空度曲线，由计算机自动完成真空度的计算，显示真空度值。