(1)精确地定量控制流量
质量流量控制器可以精确地控制气体的给定量，这对很多工艺过程的流量控制、对于不同气体的比例控制等特别有用。
(2)流量的测量和控制不因温度或压力的波动而失准。
对于多数流量测控系统而言，很难避免系统的压力波动及环境和介质的温度变化。对于普通的流量计，压力及温度的波动将导致较大的误差;对于质量流量计/质量流量控制器，则一般可以忽略不计。
(3)测量控制的自动化
质量流量计/质量流量控制器可以将流量测量值以输出标准电信号输出。这样很容易实现对流量的数字显示、累积流量自动计量、数据自动记录、计算机管理等。对质量流量控制器而言，还可以实现流量的自动控制。通常,模拟的MFC/MFM输入输出信号为0～+5V或4～20mA,数字式MFC/MFM还配有RS232或RS485数字串行通讯口,能非常方便地与计算机连接,进行自动控制。
(4)适用范围宽
有很宽的工作压力范围，我们的产品可以从真空直到10MPa;可以适用于多种气体介质(包括一些腐蚀性气体，如HCL);有很宽的流量范围，我们的产品最小流量范围可达0～5sccm，最大流量范围可达0～200slm。流量显示的分辨率可达满量程的0.1%,流量控制范围是满量程的2～100%(量程比为--50:1),因此在很多领域得到广泛应用。