在纯水系统中，PH值的测量通常被作为诊断是否有污染的一项工具。对整个系统来说，保证PH测量的准确性十分重要。
如果水的纯度非常高，可以用电导率或电阻率的测量来监控，没有必要再测量PH。所以PH值的测量通常被作为诊断是否有污染的一项工具，也就是是否有酸或碱对其的污染。它可以用来诊断污染的来源。另外，对于最终的纯化过程来说，PH也是一项非常重要的控制参数。
以下因素可以确保对高纯水的PH进行准确的在线测量：
◎测量点必须在旁路系统中并且介质可排放。因为电极的参比系统的运行需要有恒定且低的压力，而且样品会被电极中的KCL溶液污染。
◎为了防止空气中的二氧化碳对样品的污染而使测量值降低，样品必须是密封的。
◎流通式护套必须有良好的屏蔽性能(如不锈钢)以防止电干扰和电势的影响。
◎由于测量的阻抗非常高，易受干扰，所以连接传感器到变送器的电缆必须屏蔽性能很好。
◎样品的流速必须是低而且稳定的，因为流速过大会产生静电效应。
◎必须有预留的通道将参比电极中的KCL与样品分离，以防止KCL对测量的影响。
◎变送器的前置放大器必须同时为玻璃电极和参比电极提供高阻抗的输入。
◎如果参考值是25℃以下的PH的值，需要使用能斯特方程将PH值进行温度补偿至25℃以下的值。