过程仪表在工业行业的使用主要是测量、指示和控制机械等系统的温度，仪表出现故障会对整个系统产生影响。
仪表发生故障时，在进行故障判断前我们要首先注意一个问题，即系统内采用的温度仪表是否多采用电动仪表测量、指示和控制温度，那么就代表这个系统仪表的测量量具有一定的滞后性。
温度仪表系统通常来说不会出现极限指示值，因此一旦出现最大或最小温度值，一般可以判断为温度仪表系统故障。温度仪表系统是很少出现突然性变化，这是源于系统自身的滞后性，因此突然性温度值变化多半是热电偶、热电阻、补偿导线断线或变送器放大器失灵。
温度仪表在使用是如果表现出温度值的快速振动，多数是因为控制参数PID的调整不当。温度仪表如果出现缓慢的波动，则引发原因大多是工艺操作问题，若工艺操作原因被排除，那么就是温度仪表发生故障。
温度仪表系统本身的问题一般表现为控制信号无变化，根据这些控制信号的情况可以判断故障所在，系统调节阀输入信号不变则调节阀膜头膜片泄漏、系统调节阀定位器信号不变则定位器本身故障、系统调节器输出信号故障则调节器本身故障。