激发光源不激发：
1.火花台连锁开关无闭和。(将火花台外壳卸开清洁火花台后装入时，外壳左边的突出物应将火花台后部的微动开关压住，激发光源即可处于准备工作状态)。此故障现象只限于GS1000型。
2.在按下START键后气动压头无下压夹持样品动作，造成激发光源不激发。(此现象为氩气对气动压头无供气。检查氩气瓶压力。)
3.在按下START键后，气动压头将样品夹持住后即抬起，激发光源不激发。(此现象为气动压头在接触样品时，样品非处理面导电性不好。建议使用一个薄的紫铜片作为两者之间的导体。应保证样品的非处理面无水，油，氧化层等妨碍导电的介质)。
4.在按下START键后，气动压头将样品夹持住后在氩气冲洗阶段样品向上跳起，气动压头即抬起，光源不激发。(此现象为氩气废气管严重堵塞，请清洁氩气废气管)。
5.在激发样品时听不到清脆的激发光源频率的声音，只听到很微小的断续放电的声音，激发程序结束后样品被激发面无放电斑痕。(此现象为在放置样品时不小心将大块的具有导电性质的金属物掉入激发台内，请马上清洁激发台。将具有导电性质的金属物取出即可恢复激发光源的正常工作)。
标准化系数偏高(短波元素或基体元素Factor系数>1.4):
1.擦洗透镜。使用分析用丙酮将透镜表面的黄色附着物小心擦洗掉，以看不到黄色附着物为止。此为标准化系数偏高的主要原因。
2.外接氩气纯度偏低或氩气流量不足(氩气表显示低于0.3Mpa)。
3.随机配备高低标校准样品在样品制备时激发表面处理不好。
处理以上三项中的任意一项均必须重新进行完全标准化工作。
分析数据全部为零
1.擦洗透镜后未将透镜后的球阀扳为180度，将光路完全挡住。(此故障现象只限于QSN750,QSG750型)。
2.在擦洗透镜后不要马上分析样品。是因为仪器真空检测未达到正常值，此时负高压电源自动断开。擦洗透镜后等待五分钟即可正常工作。另外在GS1000型仪器上盖处于开启状态时激发样品也会出现此种现象。
分析数据不稳定
1.在发现数据不稳定时，首先要确认仪器的外围设施是否正常。例如氩气的纯度，压力是否正常，在更换氩气时管道是否漏气。样品制备是否有问题。
2.根据激发斑点的形状及大小即可判断氩气纯度是否有问题。
3.如激发斑点无问题，使用一块标准样品激发几次可看重现性即可确认是否分析样品本身的均匀性不好，存在偏析现象。
4.分析样品在制备时是否存在裂纹，砂眼等影响分析结果的现象。
通常引起分析数据不稳定的主要原因是氩气的纯度。一般情况下铸铁，铸铝及高纯金属等材质需使用99.999%纯度的氩气。