(1)光源光源的功能是发射被测元素的特征共振辐射。对光源的基本要求是：发射的共振辐射的半宽度要明显小于吸收线的半宽度;辐射强度大;背景低，低于特征共振辐射强度的1%;稳定性好，30min之内漂移不超过1%;噪声小于0.1%;使用寿命长于5A·h。多用空心阴极灯等锐线光源。
(2)原子化器原子化器的功能是提供能量，使试样干燥、蒸发和原子化。在原子吸收光谱分析中，试样中被测元素的原子化是整个分析过程的关键环节。实现原子化的方法，最常用有两种：一种是火焰原子化法(火焰原子化器)，是原子光谱分析中最早使用的原子化方法，至今仍在广泛地被应用;另一种是非火焰原子化法，其中应用最广的是石墨炉电热原子化法。
(3)分光器分光器由入射和出射狭缝、反射镜和色散元件组成，其作用是将所需要的共振吸收线分离出来。分光器的关键部件是色散元件，现在商品仪器都是使用光栅。原子吸收光谱仪对分光器的分辨率要求不高，曾以能分辨开镍三线Ni230.003，Ni231.603，Ni231.096nm为标准，后采用Mn279.5和Mn279.8nm代替Ni三线来检定分辨率。光栅放置在原子化器之后，以阻止来自原子化器内的所有不需要的辐射进入检测器。
(4)检测系统原子吸收光谱仪中广泛使用的检测器是光电倍增管，最近一些仪器也采用CCD作为检测器。