影响三坐标测量机精度的因素除三坐标测量机本身因故障造成测量精度误差以外，还有很多可能影响三坐标测量机精度的因素，造成三坐标测量误差。三坐标操作人员要了解这些因素，避免影响零件测量的准确。
1.三坐标测量机机房温度的稳定
正如前所述，温度是影响三坐标测量机精度的最大因素。三坐标测量机每年进行一次的精度校正，并不能保证在温度变化的情况下三次元测量机都能测量准确。尤其是当季节变化时，机房的温度已与校验时不同。有必要在机房温度稳定的
情况下，对因三次元光栅温度和量块温度不同而造成的误差用温度修正系数来进行修正。这种修正可以根据季节或环境温度情况来进行。
2.三坐标测量机补偿文件的正确性
三坐标测量机补偿文件是使用双频激光干涉仪检测测量机位置度、直线度和角度误差后生成的补偿文件。测量软件是根据它来进行误差补偿的。往往有些操作员在安装测量机软件时忘记安装补偿文件或将备份文件丢失而造成
三坐标测量机精度差和重新校验机器精度。所以操作员要保管好备份文件并且知道如何安装补偿文件。
3.三坐标测量机测头校正的正确性,准确性
三坐标测量机测头校正的目的是要校正出测杆(测尖)的红宝石球的直径，进行测量点测头修正，并得出不同测头位置的位置关系。在测头校正时产生的误差将全部加入到测量中去。所以在这个环节中要保证正确和准确。要
注意以下几点：
1)保持三坐标标准球和测杆的清洁。
2)保证三坐标测座、测头、测杆、标准球固定牢靠。
3)输入正确的测杆长度和标准球直径。
4)根据形状误差和校正出的宝石球直径及重复性判断校正的准确性(加长杆长度不同校正后的宝石球直径会不同)。
5)要使用不同测头位置时，在校正完所有测头位置后，要通过测量标准球球心点坐标的方法检查校验精度。
测头校验后保存的测头文件，在测头、测杆没有动的前提下可以调出使用。但测量精度比较高的情况下，建议重新校正测头。
4.三坐标测量机的工作状态
三坐标测量机在长时间使用后，尤其是在环境比较差，温度波动情况比较大的情况下，机械部分会有所变化，如：垂直度变差，横粱长度长的测量机附助腿端的测量精度差等问题。此时就要进行测量机大修和精度校验。
5.三坐标被测零件的形状误差及基准的正确选择
因为测量机测量的原理是先采点，然后软件对所采点进行拟和计算误差。所以测量机测量时对零件的形状误差有一定的要求。当被测零件有明显的毛刺或沙眼时测量的重复性就明显变差，以至于操作员给不出准确的测量结果。在这种情况下一方面要求对被测零件的形状误差进行控制，另外也可以适当增大测杆宝石球的直径，但测量误差显然要大一些。
测量时要采取正确的测量方法以及正确的选择测量基准是测量的重要环节之一。如：测圆和测线时要选择投影平面或工作平面，建立零件坐标系时正确选择第一基准和第二基准，计算同轴度时如何选择基准轴线等等。这需要掌握测量机的测量原理和根据实际情况来采取正确的方法步骤。