辐射就是指高能粒子流（射线）。每单位物质质量所接受的辐射能量称为剂量，常用拉德（rad）或者戈瑞（Gray）作为计量单位，它们与其它常用能量单位之间的关系为：1rad=100erg/g=6.24×1013eV/g，1Gray=1J/kg=100rad。
显然，在辐射强度一定的情况下，所接受到的辐射剂量与材料本身的原子密度有关；密度大者，接受的剂量大，密度小者，接受的剂量小。例如，对于常见的几种微电子材料，其剂量之间的关系为：1rad（Si）=0.58rad（SiO2）=0.94rad（GaAs）。
整个材料或者器件所接受到的辐射剂量的总和，即称为总剂量（TID）。
此外，在半导体器件和IC的抗辐射技术中，有时还会用到所谓辐射的通量和积分通量的概念。通量就是指单位时间、照射到单位面积上的高能粒子的数目，单位是；积分通量就是指在整个作用时间内、照射到单位面积上的高能粒子的数目，单位是。