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离子轰击

  仪器信息网 ·  2008-12-05 00:12  ·  14189 次点击
离子轰击是指在PVD（PhysicVaporationDeposition)时离子轰击基片，可以帮助基片清洁作用，在沉积时使用还可以提高膜基间附着力！
离子, 轰击

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