平行度（Parallelism）
平行度评价直线之间、平面之间或直线与平面之间的平行状态。其中一个直线或平面是评价基准，而直线可以是被测样品的直线部分或直线运动轨迹，平面可以是被测样品的平面部分或运动轨迹形成的平面。
平行度的评价：
当基准是直线，被评价的也是直线时，平行度是平行于基准直线且与评价方向垂直的，包含被测直线的，距离最近的两个平面之间的距离；或平行于基准，且包含直线的理想圆柱的最小直径；
当基准是直线，被评价的是平面时，平行度是平行于基准直线且包含被测平面的，距离最近的两个平面之间的距离；
当基准是平面，平行度是平行于基准平面且包含被测直线或平面的，距离最近的两个平面之间的距离。