垂直度（Perpendicularity）
垂直度评价直线之间、平面之间或直线与平面之间的垂直状态。其中一个直线或平面是评价基准，而直线可以是被测样品的直线部分或直线运动轨迹，平面可以是被测样品的平面部分或运动轨迹形成的平面。
垂直度的评价：
当基准是直线，被评价的是直线时，垂直度是垂直于基准直线且距离最近的两个包含被测直线的平面之间的距离；
当基准是直线，被评价的是平面时，垂直度是垂直于基准直线且距离最近的两个包含被测平面的平面之间的距离。
当基准是平面，被评价的是直线时，垂直度是垂直于基准平面和评价方向，且距离最近的两个包含被测直线的平面之间的距离；或垂直于基准平面，且包含被测直线的圆柱的最小直径。
当基准是平面，被评价的是平面时，垂直度是垂直于基准平面且距离最近的两个包含被测平面的平面之间的距离。