扫描探针显微镜（ScanningProbeMicroscope,SPM）
基于探针对被测样品进行扫描成象的显微镜的统称。它们利用探针与样品的不同相互作用来探测表面或界面在纳米尺度上表现出的物理性质和化学性质，包括扫描隧道显微镜、原子子力显微镜等。