金属材料的硬度在HV150以下者，用精细金刚石刀的显微切片机切割，能够得到平坦光滑的试样表面。这对软金属材料的制样是非常方便的。近年来在显微切片机的基础上，发展了显微研磨机。很快就得到商业上的应用。显微研磨机是把显微切片机上的刀片，用研磨头代替而制成的。研磨头也是用金刚石或渗碳体制成的，直径可达24.5mm，转动磨削，研磨时金属试样表面温度的增加小于1℃，也没有磨料卷入试样的表面。
显微研磨是把磨光和抛光的操作合并为一步进行。与一般的金相制样方法来比较，速度快，能够得到清洁而高质量的表面，用正常明场照明看不到划痕。浸蚀后也看不到有损伤缺陷的标志。与显微切片制样相比，显微研磨也可以用于硬度高的材料。更明显的优点是，不同硬度的相，可以同样的速度磨掉，没有浮雕形成。铸铁中的石墨，钢中的夹杂物，以及试样的边缘都能完好地保留。制备复合材料和硬质合金试样，用此法最好。