有些元素的发射谱线在远紫外区。
卤素、碳、硫、磷等用光谱分析时就需要在近真空条件下进行。
真空火花光源是在气氛压力极低的情况下激发放电，用在真空紫外光谱区域中的光谱学研究。
它可激发高激发电位元素谱线和一般元素的高次离子谱线。