求:ASTMF533-96 硅片厚度和厚度变化检测方法
计量得不到重视 · 2008-04-15 16:18 · 66210 次点击
求:ASTMF533-96硅片厚度和厚度变化检测方法
我单位新购一台硅片厚度测试仪,想自己进行校准,厂家只提供了厚度线性度验证标准“ASTMF533-96硅片厚度和厚度变化检测方法”和公式:Y=k*X+a
上限=(1+0.1%)*(k*标准样片标称值+a)
下线=(1-0.1%)*(k*标准样片标称值+a)
我上网查有此标准,但只是一个标题,没有内容!我只想知道k与a代表的含义。哪位老师有此标准请转发给我一份,万分感激!
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