求：ASTMF533-96硅片厚度和厚度变化检测方法
我单位新购一台硅片厚度测试仪，想自己进行校准，厂家只提供了厚度线性度验证标准“ASTMF533-96硅片厚度和厚度变化检测方法”和公式：Y=k*X+a
上限=（1+0.1%）*（k*标准样片标称值+a）
下线=（1-0.1%）*（k*标准样片标称值+a）
我上网查有此标准，但只是一个标题，没有内容！我只想知道k与a代表的含义。哪位老师有此标准请转发给我一份，万分感激！
本人邮箱：syz671234@126.com