无机质谱法Inorganicmassspectrometry
对无机化合物进行定性定量分析的质谱方法。早期使用火花源质谱仪器为主，目前成功地把电感耦合等离子体（ICP）电离源与质谱结合起来，使质谱法更广泛的用于无机物的分析。无机质谱法的主要应用领域有：高纯气体中痕量杂质分析；无机物元素分析；固体表面的微区和深度分析等。无机质谱法的突出优点是它具有超高灵敏度。