超显微镜亦称暗视野显微镜。超过普通光学显微镜的析像能力，能观察到0.004—0.2微米微粒子的光学显微镜。由于特别设计的遮光板，各种型号的聚光镜与数值孔径小的物镜或限制式物镜的配合，遮断了直接照明光，只观察到碰上微粒子后的反射光或散射光。能看到生物的细微结构或胶体粒子的存在。另外还有在显微镜的光轴上直角地将微光束直接照射到实验材料上的方法。