起始状态下，隧尖与对应电极之间距离远大约为１mｍ，没有隧道电流产生，对系统加电后，在驱动力的作用下，隧尖与对应电极逐渐接近，此时驱动静电力和弹性回复力都相应增大。当距离达到1mm左右的时候，有可检测的隧道电流产生，随着距离的缩小，隧道电流呈指数增长，在反馈控制电路的作用下，驱动电压下降，静电驱动力相应下降，最终与弹性回复力达到平衡，此时系统处在闭环工作状态下。当有正向外界加速度使隧道间距缩小时，静电力迅速减小而弹性力基本不变，产生向上的回复力，将质量块拉回平衡位置，从而使质量块位置基本保持不动，当有负向外界加速度使隧道间距增大时，静电力朝相反方向变化，同样使质量块位置基本保持不动，通过反馈控制电压的大小即可读出外界加速度的大小。
偏压电极在隧道式加速度计中，有三个引出电极，反馈电极、偏置电极和隧道针尖对电极，分别对应于反馈端、偏置电压端和隧道电流输出端，反馈端和偏置电压端是共地的，其所共的地是隧道电流端，隧道电流端的电压大小是在隧道式加速度计中，有三个引出电极，反馈电极、偏置电极和隧道针尖对电极，分别对应于反馈端、偏置电压端和隧道电流输出端，反馈端和偏置电压端是共地的，其所共的地是隧道电流端，隧道电流端的电压大小是由外接电路确定的，一般是将隧道电流经大电阻转换位mV级的电压，再进行后续的处理。