平面等倾干涉仪
平面等倾干涉仪是采用等倾干涉原理，主要用于平面度量值传递中的一种高精度测量仪器。用于检定尺寸较大的平晶（一般直径大于100mm,小于300mm）、各种尺寸的长平晶和标准平尺（研磨平尺）的平面度。