平面等厚干涉仪
平面等厚干涉仪是采用等厚光波干涉原理，用于测量物体表面平面度的光学精密计量仪器。该仪器可用于光学车间、实验室、计量室。按结构分为两种：一种是用钠光作为光源、不带标准平面平晶的等厚干涉仪；另一种是用激光作光源、带标准平面平晶的激光平面干涉仪。