电子能谱仪ElectronEnergyDisperseSpectroscopy
对固体表面进行微区成份分析及元素分布。可应用于半导体材料、冶金、地质等部门。X光光电子能谱仪：对固体进行化学结构测定、元素分析、价态分析。可应用于催化、高分子、腐蚀冶金、半导体材料等部门。