光电子能谱仪简单介绍data/attachment/portal/201111/06/153430tbh6n18vww8omjmw.jpg主要用途：1.XPS测定2.XPS成象3.深度剖析4.微区分析5.角分辨XPS可应用于各种固体材料表面（界面）的元素及化学态的定性、半定量、结构分析及化学键研究。
仪器类别：03030707/仪器仪表/成份分析仪器
指标信息：空间分辨（μ）能量分辨（eV)灵敏度(CPS)大面积1.04×106大面积0.54×105301.08×103300.52×103201.42.2×103
附件信息：1.X-射线单色器2.氩离刻蚀枪3.电子中和枪4.样品加热装置（1000k)5.五轴向样品旋转装置,中国科学研究院化学研究所电子能谱实验室已从事该领域工作二十多年，积累了相当丰富的经验，完成中国科学院科研课题、国家重大科研课题及国家自然科学基金等项目多项，并为所内外提供XPS分析测试服务，年均实验机时大于1200小时。