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暗视野法
Baike
· 2011-11-28 09:34 · 27589 次点击
暗视野法
观察试样干涉及衍射光的方法。照明光线通过物镜外围斜射于试样,来自试样的干涉及衍射光即被观察到。
★适用检测试样上微细的擦痕或裂痕、检测晶片等试样镜状表面。
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