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微分干涉对比法
Baike
· 2011-11-28 09:34 · 42735 次点击
微分干涉对比法
这是将用明视野法可能观察不到的试样高度微小差异通过改善对比法变为立体或三维图像的显微观察技术。照明光由微分干涉对比棱镜变为两束衍射光。这两束衍射光使试样高度差异造成在光路上的微小差异,而光路差异变为利用微分干涉对比棱镜和检偏振器的明暗对比。
再利用敏感色板,加强了高度差异的颜色变化。
★适合检测包括金相结构、矿物、磁头、硬磁盘表面和晶片精制表面等有极其微细高度差异的试样。
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